بنظر می رسد نخستین تلاشهای توأم با برداشت علمی نسبت به مفهوم بهره وری از قرن هیجدهم آغاز شده است اما اینکه این واژه چگونه وارد ادبیات اقتصادی شده است دیدگاههای مختلفی وجود دارد.

یکی از دیدگاههای مشهور در این زمینه، اظهار نظر «ژان فوراستید» می باشد به اعتقاد او اولین بار این واژه در آثار قدما و درکتابی از «آکری کولا بنام متالیکا» مطرح شده است. اما در قرن هیجدهم فیزیوکراتهایی مانند «فرانسواکنه» به این واژه مفهوم «قدرت تولید کردن» را اطلاق نمودند. در لغت نامه «لاروس» در سال 1883 میلادی نیز توسط لیتره مفهوم تولید بکار گرفته شده است. کارل مارکس با ارائه نظریه ارزش نیروی کار و آدام اسمیت بعنوان تحلیلگر روابط بین کار و تقسیم کار از جمله کسانی هستند که در ادامه مفهوم مناسب بهره وری نیز نقش بسزائی داشته اند.[1]

از اوائل قرن بیستم این واژه مفهوم دقیقتری یافت و بعنوان بازده (ستاده) و عوامل بکار رفته برای تولید آن (نهاده) تعریف شد. در سال 1900 میلادی فردی بنام «ارلی» بهره وری را ارتباط بین بازده و وسایل بکار گرفته شده برای تولید آن عنوان کرد و بطور کلی از سوی اقتصاددانان این واژه مفهوم کاملاً مشخص تری با عنوان «رابطه قابل سنجش بین تولید و عوامل آن» پیدا کرد.

سوهانت در کتـاب مـدیریت و مهنـدسی بهـره وری، سـر تـاریخی مطرح شدن واژه مذکور را در قالب جدول بیـان می نماید و اظهار می دارد که فرانسواکنه در سال 1776 برای اولین بار لغت بهره وری را مطرح ساخته است. مفهوم بهره وری در عین سادگی دارای پیچیدگی بوده و هنوز به طور قطع ادراک نشده و اتفاق نظری بین صاحبنظران در مورد یک مفهوم و همچنین یک تعریف جامع و کامل وجود ندارد.

درسال1950 (سازمان همكاري اقتصادي اروپايي ياOEEC) ) تعريف كاملتري از بهره وري به اين شرح ارائه داد:

بهره وري خارج قسمت بازده به يكـي از عوامل تـوليد است . بديـن ترتيب مـي توان از بهره وري سرمايه ،سرمايه گذاري يا مواد خام وغيره ،نام برد.